据悉,该套新装置位于上海西南的浙江省嘉兴市海滨城镇乍浦,配备了最先进的技术,将生产最高品质的硫酸。由于在制造小于10纳米单位数节点晶片的过程中需要经过数百道清洗工序,新装置所生产的硫酸将主要用于此过程中半导体晶片的清洁。
嘉兴装置依托巴斯夫全球研发网络与专业生产技术,成功搭建出生产工艺的复杂架构,并实施质量管理专有体系。这一装置拥有先进的质量分析设备和配有专用无尘室的分析实验室,旨在满足中国电子行业客户的未来需求。
“嘉兴的新电子级硫酸装置将是巴斯夫在中国电子材料市场持续增长与拓展的又一重要举措。”巴斯夫电子材料业务部亚太区副总裁言甯璿表示,“中国已成为全球最大电子材料市场之一,而且还在不断成长,我们将更贴近客户,为他们提供更迅捷、更高效的化学解决方案、更可靠的供应和更稳定的品质。”
据了解,该装置尚未竣工即同时启动扩建项目,扩容后产能将翻番。扩建项目预计将于今年年底投产。